Зеленоградский “Микрон” изготовил тестовые образцы микросхем, созданных по технологии 65-нм. Вскоре предприятие обещает запустить промышленное производство серийных изделий, передаетCNews.ru.

Как рассказал гендиректор компании Геннадий Красников, предприятие “НИИМЭ и Микрон” закончило научные и технологические работы по созданию микросхем по технологии 65-нм. Тестовые образцы таких транзисторов и кольцевых генераторов сошли с конвейера в декабре 2013 г.

В апреле 2014 г. «Микрон» планирует выпустить свои первые изделия по новой технологии - память на 16 Мб, говорит Красников: «С одной стороны это достаточно простые изделия, а с другой почти 100 млн транзисторов на кристалле позволяют хорошо оценить процент выхода годных изделий».

В технологическом процессе 65-нм производства «Микрона» используется ультрафиолетовая фотолитография с длиной волны излучений 193 нм, которая применяется для серийного производства 90-нм чипов.

В конце лета 2014 г. Красников намерен предоставить правила проектирования по технологии 65-нм сторонним дизайн-центрам, чтобы те могли формировать свои заказы для “Микрона”. “В конце года мы будем готовы организовывать серийное производство как собственных разработок, так и разработок других дизайн-центров”, - обещает он.

Для изготовления пластин с микросхемами по новому для предприятия техпроцессу используется та же линия оборудования, на которой уже производятся чипы по технологии 90 нм. Однако, помимо изменения настроек устройств, была докуплена и новая аппаратура.

“Мы закупили технологическое оборудование, достраиваем новую чистую комнату, - говорит Красников. - Пока мы хотим выйти на мощность 500 пластин в месяц по 65-нм”.

Использование уже работающего на линии оборудования является стандартным подходом при минимизации типоразмеров, отмечает руководитель «Микрона».

Сейчас линия выпускает около 3,5 тыс. пластин в месяц по технологии 90-нм. Из заказчиков Красников называет МЦСТ (производит процессор “Эльбрус”) и НТЦ “Элвис”, специализирующееся на аппаратной обработке видеоизображений (цифровые сигнальные процессоры, микросхемы памяти и т.д.).

Переход на новых технологический процесс позволит сократить энергопотребление чипов и их габариты за счет большего числа элементов на единицу площади. 65-нм микросхемы будут изготавливаться на 200 мм пластинах. Красников называет это отработанной технологией: «В мире есть 8 таких фабрик».